メタル炉＜カーボンフリーの“メタル雰囲気"＞
材料本来の反応をそのまま観る！黒鉛部材を一切使わないチャンバーで、炭素由来の副反応や汚染を抑制
当社で取り扱う「メタル炉」は、評価したいのは材料そのものの表面反応・ 相変化だが、黒鉛部材や有機材のアウトガス/炭素源が系を乱すことがある などといった課題を解決します。 ハロゲン・窒化・還元など化学雰囲気が敏感なプロセスは、カーボンフリー の方が再現性が高く、だからこそ、内壁・ヒータ・治具まで金属で統一した メタル炉が有効です。 当社では、テスト機もご用意いたしております。 また、小型機以外にも量産スケールの炉も製作実績があります。 【特長】 ■カーボンフリー ・全金属(Mo/W)ホットゾーン/金属チャンバー、黒鉛・有機材不使用で 炭素由来の副反応を抑制 ■クリーンな雰囲気切替 ・真空→Ar/N2の切替がスムーズ、置換後のブランクが低い ■反応の再現性 ・小型チャンバーで同一条件を短サイクルに再現 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【このような課題に】 ■評価したいのは材料そのものの表面反応・相変化だが、黒鉛部材や有機材の アウトガス/炭素源が系を乱すことがある ■活性金属ろう(AgCuTi等)、セラミックス‐金属封着、貴金属・遷移金属の アニールでは、炭素の影響を避けたい ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【応用例】 ■貴金属・高融点金属・触媒材料の表面安定性評価 ■ガス反応性評価(還元性や窒化性など、炭素の影響を排したい系) ■薄膜・電極・光学部材のアニール/封止(炭素汚染を避けたい試料) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
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取り扱い会社
当社は、「電気」「設備」「化学」の三つの技術を独自のノウハウで 融合させ、革新的な加熱炉、その他設備を開発している会社です。 独自の高温電気炉技術を活かしカーボン炉やマルチ雰囲気炉、メタル炉、 塩素炉など様々な電気炉(加熱炉)を取り扱っております。 単なる設備メーカーではなく、10年先のスタンダードを見据え、お客様と 共にモノづくりを革新的な熱でサポートする、戦略的開発パートナーです。