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【半導体製造向け】R-Series

クリーンルーム環境を維持する、オイルフリーで信頼性の高いガスサンプリングポンプ。

半導体製造業界では、製造プロセスの安定化とクリーンルーム内の環境維持が極めて重要です。特に排気プロセスにおいては、コンタミネーションを防止し、連続稼働に耐えうる高い信頼性が求められます。不純物の混入やポンプの停止は、製品の歩留まり低下や製造ラインの停止に直結するリスクがあります。当社のR-Series Diaphragm Sampling Pumpは、オイルフリー設計と堅牢な構造により、クリーンな環境下での安定した排気・サンプリングを実現します。 【活用シーン】 ・クリーンルーム内のガス排気プロセス ・製造装置からのガスサンプリング ・連続稼働が求められる排気ライン 【導入の効果】 ・オイルフリー設計による汚染リスクの低減 ・連続動作可能な設計による稼働率の向上 ・高い耐久性によるメンテナンス頻度の削減

基本情報

【特長】 ・オイルフリー設計により、汚染のないクリーンなサンプリングが可能 ・最大150 LPM、29.9 InHg、75 PSIGのパフォーマンス範囲 ・連続動作に対応した信頼性の高い設計 ・高い耐久性によりメンテナンス頻度を低減 ・ダブルダイヤフラム構造により、万が一の破損時もサンプル媒体を保護 【当社の強み】 弊社は装置組み込みポンプのエキスパートとして、世界各国で60年以上の実績がございます。米国Ingersoll Rand社の日本法人として、技術・品質・コスト・安定供給の面で多くのお客様から評価をいただいております。お客様の要求仕様に応じたカスタマイズソリューションの提案から開発・生産まで、グローバルな製造拠点とサポート体制で対応いたします。

価格情報

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用途/実績例

環境サンプリング、ガス分析、化学処理、製油所、ガスクロマトグラフィー、自動車排出ガス試験などの業界に最適です。

ダブル ダイヤフラム - ガス移送の安全性を次のレベルへ -

総合カタログ

水素バリューチェーンにおける ADIの優位性

アプリケーションノート

持続可能なAIインフラの実現― 先進的な排出制御技術によって ―

総合カタログ

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取り扱い会社

ガードナー・デンバー株式会社は米国Ingersoll Rand 社(NYSE:IR)の日本法人として装置組み込み専用ポンプThomas製品を日本のお客様にお届けしております。 装置の性能、品質は組み込まれている構成部品が重要です。だからこそ、弊社お客様の多くから弊社製品の技術、品質、コスト、安定供給が評価され、長年お取引頂いております。 WOB-Lピストン、ピストン、ダイアフラム、ロータリーベーン、ペリスタルティックといった機構、また、それにより、お客様の要求仕様に対応したカスタマイズソリューションを提案、開発、生産する事を可能にしております。 また、北米、ドイツ、中国の3製造拠点、18のグループ企業、900を超える従業員、認定代理店によって、世界各国のお客様に対応している稀有な企業です。