ファンフィルターユニット（FFU）
筐体に合ったサイズにカスタマイズFFUの提案が可能です。
貴社製造装置のご要望に応じた特注対応のFFUがご提案できます（※1)。 何なりとご要望をお聴かせください。 【主な特注可能な仕様】 1.FFU外形サイズの自由度 貴社筐体とのマッチングを考慮し、必要風量に応じたファンモータを 組み合わせることで最適なFFUを提供いたします。 2.各種フイルタの搭載が可能 HEPA、ULPA、ボロン対応、低有機ガス対応の他、酸/アルカリ/有機ガス 除去用のケミカルフイルタとの組み合わせも可能です。 3.チャンバー内差圧取出し用のポート増設 4.CEマーキング対応品もあります（※2) ※1) 仕様上で一部ご要望を満足できない内容もございます。 ※2) CEマーキングが可能な特注機種には、一部制限がございます。 ご不明点なり詳細は、弊社窓口までお問い合わせをおねがいします。
基本情報
【ラインアップ】 ■DCブラシレスモーター搭載可変風量タイプ ■ACモーター搭載単一風量タイプ ■ACモーター搭載小形タイプ ■特注仕様 1.施工性向上（ノンシールモデル） ・フィルターを内部に落とし込む事で筐体の出っ張りを80mmに！ 2.製品外形寸法、取付方法変更 ・製品外形寸法は、短辺長辺共400mm以上であれば製作可能 3.フイルタ仕様の変更 ・PTFE、ケミカルフイルター等各種フイルターに対応します 4.外装ステンレス仕様 5.電源仕様変更 【DCブラシレスモーター搭載のみ対応】 1.操作部外部取り出しモデル 2.集中コントローラー対応 3.CEマーキングの対応が可能（CE対応モデル） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 1.半導体製造装置・液晶製造装置 2.クリーンルーム・クリーブース・クリーンベンチ 3.医療・医薬関連設備 4.食品・バイオ関連設備 5.精密機器・光学機器関連設備 etc...
詳細情報
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DCブラシレスモーター搭載可変風量モデル □400mm ＊400mm以上の異形寸法対応可能です。
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DCブラシレスモーター搭載可変風量モデル □610mm ＊400mm以上の異形寸法対応可能です。
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ノンシールタイプ取り付けイメージ 筐体内にフィルターを落とし込んで筐体外は80mmの厚さで取り付け可能！
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ノンシールタイプ外観 外形が標準品より30mm大きくなります。
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吸込み口スペース DCブラシレスモータ搭載タイプで30mm以上 ACモータ搭載タイプで50mm以上確保願います。
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DCブラシレスモーター搭載可変風量CE対応モデル ■充実した電源対応：DC入力タイプはDC36V／24Vに対応 AC入力タイプでは単相100～200V／200～240V ■各種特注仕様でもCEマーキングの対応が可能 ・ 製品外径寸法の変更 ・ フィルター仕様の変更 ULPA、PTFEフィルター仕様にも対応 ・ 操作部外部取り出しタイプへの変更
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ステンレス対応品 お問い合わせください。
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集中コントローラー ■最大18台まで運転可能 集中コントローラー（6台）と増設ユニット2台（12台）
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特殊フィルター対応 PTFE,ケミカルフィルター等に対応致します。
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