当社 質量ガス分析装置が2022年度JVSS産業賞 受賞
東京電子株式会社
2022年5月20日に公益社団法人日本表面真空学会2022年度表彰式が
東京大学小柴ホールにて行われ、当社 質量ガス分析装置が
「完全封止質量分析法の製品化による車載デバイスの品質保証への貢献」を
テーマに2022年度産業賞を受賞しました。
自動車の自動運転化が進み、それを司る車載用電子デバイスの役割が
非常に重要になっています。
本内容は車載用電子デバイスあるいは半導体などの封止デバイス、
あるいは半導体ウェーハの信頼性を保証するための漏れ(リーク)検査・
ガス分析についての技術です。
