2021年06月30日
東京電子株式会社
東京電子がオンラインで開催する【東京電子オンラインEXPO】がオープンとなりました！ ガス分析計や、新しい真空構造材などを展示しています。 是非お立ち寄りください。
0.2％BeCu合金製で低ガス放出化を実現！ステンレススチールの代替えに。
当社では、この他にも「極高真空計 3B-Gauge」「超低ガス放出残留ガス分析計 WATMASS」など 極高真空製品を多数取り扱っています。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
極微量ガス分析から大気圧サンプリングまで、単体での計測からシステムアップした分析装置として、高性能なモデルをそろえた質量分析計！
■極・超?真空の?精度な質量分析 ■表?分析 ■半導体デバイスの劣化とガス放出 ■光刺激、電?刺激によって発?するガス分析 ■微量ガス分析（TDS/Out Gas） ■封?デバイス/MEMSのガス分析及び、E-15Pa・m3/sレベルのリーク試験 ■ガラスのHe透過試験及び、微?気泡ガス分析 ■?気圧分析（呼気、燃焼ガス、触媒反応） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減！一般的な四重極残留ガス分析計での計測が難しいXHVガス分析が可能！
【仕様（一部）】 ■質量範囲：100,200,300amu ■検出器タイプ：FC／EM ■イオン化エネルギー：70eV ■フィラメントタイプ：Y2O3-Ir デュアルフィラメント ■感度：1.0 x 10-6 A／Pa以上（100amu FC Sensor） ■最小検出速度：1.8msec ■動作温度：200℃（FC）,150℃（EM） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
