基板表面マクロ検査装置『Stealth300Vシリーズ』
基板全面を高感度・高速検査。
基本情報
【仕様】 ■基板サイズ：8inch~12inch Wafer、角基板（小口径基板応相談） ■ロード方式：手動/自動 ■オプション：GEM/GEM300通信、KLARFファイル出力 表面異物検査光学系オプション 裏面キズ検査光学系オプション ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
■業界実績：OLED、マイクロLED、イメージセンサ用カラーフィルタ、マスクブランクス、 ■検査対象基板：シリコン、石英、ガラス、LT/L... ■検査対象：レジスト膜、カラーレジスト膜、PI膜等... ■検出欠陥：ムラ、異物、傷、残渣、デフォーカス、クラック等... ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
東朋テクノロジーは、半導体検査/製造装置・通信機器などの自社製品開発、産業機器や空調の販売・工事を中心に、創意躍動の社是でお客様に貢献します。
