浜松ホトニクス PHEMOS-X
多波長レーザ搭載により、可視光から近赤外光まで一台で対応可能です。
PHEMOS-Xは半導体デバイスの故障に起因する発光・発熱などをとらえて故障箇所を特定する高解像度エミッション顕微鏡です。 1. 超高感度カメラを2台搭載可能 2. OBIRCH、DALS、EOP、レーザマーカ用の光源を最大7個まで搭載可能。 3. 様々なサンプルへの対応が可能な光学ステージを搭載
基本情報
発光解析と発熱解析、または可視光と近赤外光といったことなる検出広域をカバーすることで、サンプルや不良モードにあわせた解析技術を選択できます。
価格帯
1億円 ~
納期
応相談
用途／実績例
半導体の解析に用います。
