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【コーティング事例】シリコンウエハ基板へのTiN膜コーティング

Alスパッタ+陽極酸化に耐える事ができ、規格を満たす事ができた事例をご紹介致します

東京都八王子市にある首都大学東京様からシリコンウエハ基板にAlを スパッタし陽極酸化処理を施したいが、密着性や特性等が規格を 満足する事がでいず困っていると相談がありました。 TiN膜を初層に成膜することにより、どのような変化を示すのか確認 したいもだが、試作のみの案件になるため他の会社では断られ、成膜 してくれる会社がなく困っていました。 大学では薄膜電極層についての研究がおこなわれているとの事でした。 シリコンウエハ基板にTiN膜コーティングを処理した場合、テープテスト でも剥がれてしまうケースが多く、密着性に大きな問題があります。 そこで、密着性を向上させるために初層膜にバインダーコートを行った 後にTiN膜処理を行う事を提案しました。 ※事例の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。  詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.kenko-tokina.co.jp/mmf/casestudy/433.h…

基本情報

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取り扱い会社

半世紀を超えたトキナーレンズの開発を通じ、その経験と技術を映像の分野で価値ある製品をお客様にお届けすることにより社会に貢献します。さらに事業の創造と革新を進め、人・社会・調和、心の通う社会を創るために、絶え間ない技術革新に取り組み、地球環境に配慮した製品作りを意識した経営を行います。 産業分野では、生産用機器・検査機器等の装置に組み込まれる光源装置、ファイバー、FAレンズ、マクロレンズなど、幅広い映像分野で活躍しています。 セキュリティ分野では年々需要の増える監視カメラ向けに、高い技術力を誇るCCTVレンズと監視カメラ用機器は確実にシェアを伸ばしています。

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