【半導体向け】高温炉・真空炉用グラファイトトレー
半導体製造におけるウェーハ搬送を支えるグラファイトトレー
半導体業界では、ウェーハの品質を維持するために、高温環境下での正確な搬送が求められます。特に、熱処理工程においては、ウェーハを均一に加熱し、歪みを防ぐことが重要です。不適切なトレーの使用は、ウェーハの破損や性能劣化につながる可能性があります。当社のグラファイトトレーは、耐熱性、耐薬品性に優れたグラファイト素材を使用し、ウェーハを安全に搬送します。 【活用シーン】 ・高温炉内でのウェーハ搬送 ・真空炉内でのウェーハ搬送 ・熱処理工程におけるウェーハの保持 【導入の効果】 ・ウェーハの破損リスクを低減 ・熱処理工程の効率化 ・製品の品質向上
基本情報
【特長】 ・熱に対する性質が優れている ・酸化しにくい ・電気を通す（導電性） ・軽くて取扱いが容易 ・耐薬品性がある 【当社の強み】 当社は、78年間カーボン・グラファイト加工に携わってきました。多種多様な材料をストックし、お客様の図面に基づき、1個からの受注生産に対応しています。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
カタログ（7）
カタログをまとめてダウンロード
おすすめ製品
取り扱い会社
当社は、2025年を以って78周年を迎える事が出来ました。 マシニングやNC旋盤といった高性能の機械が出来る前より長きにわたり カーボン・グラファイトの加工の老舗として業界を引っ張って参りました。 ・各材料メーカー様より仕入れた多品種の材料を常にストックしています ・受注生産ですので、量産又は1個からでも承ります ・図面は手書きでも構いませんので、お見積もりだけでもお気軽にお声がけください