【三甲社】半導体ウエハ搬送容器
多様なウエハ、さまざまな工程に対応する輸送容器を豊富にラインアップしています！
当製品は、進化を続ける半導体産業の基盤であるウエハをクリーンかつ安全に 移送する容器です。 50-300mmまでのウエハサイズ、ガラス、化合物などの多様な材質や、近年 増加している薄物ウエハにも対応する豊富なラインアップを有しています。 有機無機の汚染やパーティクルの発生がきわめて少なく、振動・衝撃にも強い、 信頼性の高いウエハ輸送容器を提供してまいります。 【構造の特長】 ■落下・振動にも強い独自のクッション構造を採用 ■ガスケット構造の採用により、優れた気密性を確保 ■シンプルな部品構成で取扱操作や組立・分解も容易 ■視認性が良く、収納されたウエハの状況が確認できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ラインアップ】 ■Σ-シリーズ ■SS-シリーズ ■CB-シリーズ ■Ω-シリーズ ■α-シリーズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
