石原ケミカル株式会社 高機能材料 公式サイト

グラッシーカーボンは黒色ガラス状の炭素素材で『樹脂を焼成してからさらに熱処理を加えてカーボン化』した製品です。 耐薬品性や電気伝導性に優れ、黒鉛に比べるとパーティクルが出ず、ガス透過の心配がないので半導体装置用部材に使用されています。 他にも溶融金属が付着しにくい特長もあり、熱処理用部材としてもご使用いただけます。 石原ケミカルではセラミックス加工での実績のもと、高品質の加工品を短納期で提供しておりますので、何でもご相談下さい。

～特徴～ ・耐熱性 ・耐薬品 ・高純度 ・パーティクルがない ・脱ガスフリー ～代表特性値～ 嵩密度・・・ 1.51 g/cm³ 電気抵抗率・・・ 42 μΩｍ 曲げ強度・・・ 147MPa(1500kgf/cm²) ショアー高度・・・ 120 灰分・・・ ＜2ppm 熱伝導率・・・5.8w/mK(5.0kcal/mhr℃) 熱膨張率・・・2.1 ×10⁻⁶/℃

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■用途 ・半導体装置用部材 ・ガラス熱処理用部材 ・検査機器用の治具