●洗浄液 洗浄液には、多種の組み合わせが有ります。 代表的なものを下記に記します。 ・アルカリ系洗浄剤・水又は純水・温純水 ●使用方法 専用バスケット又はガラスカセットを、ローダーにセットしていただければアンローダーまで自動搬送いたします。バスケット又はガラスカセットを出していただければOKです。 【洗浄工程】 ・ローダー 　　↓ ・洗剤超音波洗浄 　　↓ ・水または純水シャワー 　　↓ ・温純水乾燥 　　↓ ・乾燥炉 　　↓ ・アンローダー

ウェハ用・液晶基板用等カセット専用洗浄装置です。