フラッシュランプアニール装置『SUS980シリーズ』
ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置！大面積で一括照射、高照射が可能！
『SUS980シリーズ』は、結晶化、剥離、酸化膜形成などの用途にお使いいただける フラッシュランプアニール装置です。 ランプに流れる電流を半導体スイッチでON／OFF制御することで、 ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1～60msec)。 ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し大面積で一括照射、 高照射が可能です。 【特長】 ■深さコントロール(バルス制御) ■ランプに流れる電流を半導体スイッチでON／OFF制御 ■ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1～60msec) ■複数パルスの照射も可能 ■高出力・大面積一括処理(タクト短縮、高均一度) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様(抜粋)】 ＜実験用／大面積用＞ ■照射エリア(mm)：100×150／500×500 ■照射エネルギー(J／cm2)：～40／～4 ■均一度(%)：75以上／90以上 ■パルス幅設定範囲(msec)：1～60 ■発光周期(sec)：60以上／6.5以上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■結晶化 ■剥離 ■酸化膜形成 ■焼成 ■接着 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
