ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』
ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』
基本情報
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例（加熱/成膜）のご紹介です 【特徴】 ○使用光源：ハロゲンランプヒータ ○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける 金属膜、絶縁膜の形成に用いられる CVDやスパッタリング装置の熱源として最適 ○さらに成膜前の、水分除去や予備加熱にハロゲンランプヒータを 用いることで、スループット向上と高品質な膜形成を実現 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ○CVD ○スパッタリング装置
