ウシオの光で出来ること『不純物拡散』
ウシオの光で出来ること『不純物拡散』
基本情報
統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例（不純物拡散）のご紹介です 【特徴】 ○使用光源：クセノンフラッシュランプ・ハロゲンヒータランプ ○半導体工程において、ソースドレインにインプラントを行い その後、アニール工程によってドーピングした不純物を活性化 ○クセノンフラッシュランプの特性を活かし ミリ秒単位という短時間で今までの活性層の深さに比較して 極めて浅い部分（nmオーダー）を高温アニールし 不純物の拡散を防ぐことが可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
価格情報
-
納期
用途／実績例
【用途】 ○シリコンウェハを注入した不純物の活性化
