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工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの様々なシミュレーションに対応可能。導入後のサポートも安心。

【その他の特長】 ■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで、 　真空チャンバーを用いる実験や装置開発に有用 ■CVDのような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能 ■非構造メッシュを採用しているため、実際の装置の形状そのままを 　計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られます ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり、 　品質の悪い計算格子が有っても、必ず収束解を得られます ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが初めての方や 　実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI上で、複数の反応式を設定も可能 ・成膜速度分布 ・電子とイオンの密度分布 ・ラジカルと励起種の発生分布 ・イオンフラックス分布 ・エロージョン速度分布　　　　　　など ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解析ソフト

【特長】 ●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで，真空チャンバーを 　用いる実験や装置開発に有用 ●CVD のような化学反応を含む成膜速度,成膜分布のシミュレーションが可能 ●非構造メッシュを採用しているので，実際の装置の形状そのままを 　計算することが可能 ●高い並列効率から，大規模形状でも短時間で計算結果が得られます ●粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が 　 有っても，必ず収束解を得られます ●充実した技術サポートにより，シミュレーションが始めての方や実験で 　 忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。

『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)などのシミュレーションに適したプラズマ解析ソフトウエアです。

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。

従来では困難だった自動車用スパークプラグのアークプラズマ解析も可能なシミュレーションソフトウェアです。

VizSparkはアークプラズマの特性だけではなく、共役熱伝達や流れとの連成を考慮に入れているため、幅広い目的に活用をして頂く事が可能です。 VizSparkを使用する事で、アークプラズマにより発生する熱や発熱に伴う圧力及び温度上昇の他、アークプラズマのエネルギー効率等を解析できます。

「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

【特長】 ●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで，真空チャンバーを 　用いる実験や装置開発に有用 ●CVD のような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能 ●非構造メッシュを採用しているので，実際の装置の形状そのままを 　計算することが可能 ●高い並列効率から，大規模形状でも短時間で計算結果が得られます ●粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が 　 有っても，必ず収束解を得られます ●充実した技術サポートにより，シミュレーションが始めての方や実験で 　 忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。

従来では困難だった自動車用点火プラグのアークプラズマ解析も可能なシミュレーションソフトウェアです。

VizSparkはアークプラズマの特性だけではなく、共役熱伝達や流れとの連成を考慮に入れているため、幅広い目的に活用をして頂く事が可能です。 VizSparkを使用する事で、アークプラズマにより発生する熱や発熱に伴う圧力及び温度上昇の他、アークプラズマのエネルギー効率等を解析できます。

プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授によって開発されたソフトウェアです。

VizGlowの特徴は、圧縮性流体モデルを採用しているため、様々な条件のプラズマ解析を行う事が可能な点にあります。 シミュレート可能なプラズマの種類 容量結合プラズマ (CCP) 誘導結合プラズマ (ICP) マイクロ波プラズマ (MWP) 直流 (DC) プラズマ 大気圧プラズマ (APP) 微小放電 (MD)

ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

【その他の特長】 ■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで、 　真空チャンバーを用いる実験や装置開発に有用 ■CVDのような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能 ■非構造メッシュを採用しているため、実際の装置の形状そのままを 　計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られます ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり、 　品質の悪い計算格子が有っても、必ず収束解を得られます ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが初めての方や 　実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI上で、複数の反応式を設定も可能 ・成膜速度分布 ・電子とイオンの密度分布 ・ラジカルと励起種の発生分布 ・イオンフラックス分布 ・エロージョン速度分布　　　　　　など ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。