半導体製造装置 搬送工程向けコーティング
搬送ハンドの傷・欠け防止から躯体の腐食対策まで。ウエハー搬送の信頼性を高めるコーティング
半導体製造において、ウエハー搬送装置は極めて重要な役割を担っています。 搬送ハンドの表面にフッ素樹脂コーティングを施すことで、ウエハーの欠けや傷つきを防止し、歩留まり向上に貢献します。 また、薬品雰囲気にさらされる躯体や金属ねじにも施工することで、錆・腐食の発生を抑え、装置の長寿命化と安定稼働を実現します。 吉田SKTは、テフロン(TM)コーティングのパイオニアとして2,000社以上の実績を持ち、 搬送パーツの形状や使用環境に合わせた最適なグレード選定とカスタマイズ提案が可能です。 数百種類の表面処理技術から、お客様の課題に最適な一品をご提案いたします。 詳しくは資料をダウンロードしてご確認いただくかお問い合わせください。
基本情報
【主な機能】 ・すべり性：ウエハーとの接触面の摩擦を低減し、傷・欠けを防止 ・耐薬品性：薬品雰囲気下での躯体・ねじの腐食を抑制 ・非粘着性：搬送面への異物付着を低減 【対応部位】 ・搬送ハンド、躯体、取り付け金属ねじ 等 【グレード】 ・用途・環境に合わせて最適なグレードを選定可能
価格帯
納期
型番・ブランド名
テフロン(TM)コーティング
用途／実績例
【用途例】 ・ウエハー搬送ハンド：ウエハーの欠け・傷つき防止 ・搬送機躯体：薬品雰囲気による錆・腐食の防止 ・躯体取り付け金属ねじ：腐食防止による装置安定性の確保 詳しくは資料をダウンロードいただくか、お問い合わせください。
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製造装置や機械部品の性能を最大限に引き出すため、 吉田SKTは数百種類の表面処理技術から、お客様だけの「最適解」を導き出します。 ・粘着トラブルによる生産性低下 ・摩擦による製品品質の不安定化 ・腐食による設備の早期劣化 こうした製造現場の課題に、豊富な実績と確かな技術力で応えます。 1963年、フッ素樹脂加工を開始。 1968年には米国デュポン社（現ケマーズ社）とのライセンス契約を締結し、 自動車から医療、航空宇宙まで、2,000社を超えるお客様の製造革新をサポートしています。 さらに2024年にはPFASフリーコーティングを開発するなど、次世代製品の開発にも注力。 持続可能な製造業の発展に貢献します。 名古屋・東京・山口の3拠点体制で、量産から特注品まで柔軟に対応。 一貫した品質管理体制により、確かな品質をお届けします。 製造現場の課題解決は、表面処理のエキスパート、吉田SKTにお任せください。