半導体製造装置 洗浄工程向けコーティング
腐食防止・金属イオン溶出防止・ウエハー傷防止。洗浄装置の課題をまとめて解決
半導体製造の洗浄工程では、各種薬液を使用するため、装置部品の腐食や金属イオンの溶出が深刻な課題となります。 フッ素樹脂コーティングを駆動部品に施すことで耐薬品性を付与し、腐食を防止。 洗浄槽への施工により金属イオンの溶出を抑え、高純度な洗浄プロセスを維持します。 さらにウエハーステージへの施工で、ウエハーの傷防止にも対応できます。 吉田SKTは、テフロン(TM)コーティングのパイオニアとして半導体分野で豊富な実績を有し、 お客様の装置仕様や薬液条件に応じたカスタマイズ対応を得意としています。 詳しくは資料をダウンロード、お問い合わせください。
基本情報
【主な機能】 ・耐薬品性：各種薬液に対する高い化学的安定性で部品の腐食を抑制 ・高純度対応：金属イオン溶出を極めて低水準に抑制 ・すべり性：ウエハー接触面の摩擦を低減し傷を防止 【対応部位】 ・駆動部品、洗浄槽、ウエハーステージ 等 【グレード】 ・薬液種類や温度条件に合わせて最適なグレードを選定可能
価格帯
納期
型番・ブランド名
テフロン(TM)コーティング
用途／実績例
【用途例】 ・洗浄装置の駆動部品：薬液環境下での腐食防止 ・洗浄槽：金属イオン溶出の低減による高純度プロセスの維持 ・ウエハーステージ：腐食防止およびウエハー傷つき防止 詳しくは資料をダウンロードいただくか、お問い合わせください。
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製造装置や機械部品の性能を最大限に引き出すため、 吉田SKTは数百種類の表面処理技術から、お客様だけの「最適解」を導き出します。 ・粘着トラブルによる生産性低下 ・摩擦による製品品質の不安定化 ・腐食による設備の早期劣化 こうした製造現場の課題に、豊富な実績と確かな技術力で応えます。 1963年、フッ素樹脂加工を開始。 1968年には米国デュポン社（現ケマーズ社）とのライセンス契約を締結し、 自動車から医療、航空宇宙まで、2,000社を超えるお客様の製造革新をサポートしています。 さらに2024年にはPFASフリーコーティングを開発するなど、次世代製品の開発にも注力。 持続可能な製造業の発展に貢献します。 名古屋・東京・山口の3拠点体制で、量産から特注品まで柔軟に対応。 一貫した品質管理体制により、確かな品質をお届けします。 製造現場の課題解決は、表面処理のエキスパート、吉田SKTにお任せください。