半導体製造装置 検査工程向けコーティング
ウエハーの傷・固着・金属粉発生を防止し、検査工程のクリーン環境を維持
半導体製造の検査工程では、ウエハーの傷つき、吸着ステージへの固着、摺動部品からの金属粉発生が課題となります。 フッ素樹脂コーティングは、吸着ステージへの施工によりウエハーの物理的保護膜として傷を防止し、 非粘着性によりウエハーの固着を防ぎ、効率的な検査プロセスに貢献します。 また、摺動部品への施工では金属粉の発生を抑え、クリーンな検査環境を維持します。 吉田SKTは数百種類の表面処理技術から最適な提案を行うカスタマイズのスペシャリストです。 詳しくは資料をダウンロードするかお問い合わせください。
基本情報
【主な機能】 ・すべり性：ウエハー表面の傷つきを防止する保護膜として機能 ・非粘着性：ウエハーの固着を防止し検査効率を向上 ・摺動特性：金属粉の発生を抑えクリーン環境を維持 【対応部位】 ・吸着ステージ、摺動部品 等 【グレード】 ・検査条件に合わせて最適なグレードを選定可能
価格帯
納期
型番・ブランド名
テフロン(TM)コーティング
用途／実績例
【用途】 ・吸着ステージ：ウエハーの傷防止および固着防止 ・摺動部品：金属粉の発生防止によるクリーン環境の維持 詳しくは資料をダウンロードいただくか、お問い合わせください。
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製造装置や機械部品の性能を最大限に引き出すため、 吉田SKTは数百種類の表面処理技術から、お客様だけの「最適解」を導き出します。 ・粘着トラブルによる生産性低下 ・摩擦による製品品質の不安定化 ・腐食による設備の早期劣化 こうした製造現場の課題に、豊富な実績と確かな技術力で応えます。 1963年、フッ素樹脂加工を開始。 1968年には米国デュポン社（現ケマーズ社）とのライセンス契約を締結し、 自動車から医療、航空宇宙まで、2,000社を超えるお客様の製造革新をサポートしています。 さらに2024年にはPFASフリーコーティングを開発するなど、次世代製品の開発にも注力。 持続可能な製造業の発展に貢献します。 名古屋・東京・山口の3拠点体制で、量産から特注品まで柔軟に対応。 一貫した品質管理体制により、確かな品質をお届けします。 製造現場の課題解決は、表面処理のエキスパート、吉田SKTにお任せください。