「Yano E plus」2018年2月 次世代ナノインプリント
定期刊行物「Yano E plus」の 2018年2月号です。
◆トピックス◆ 《次世代市場トレンド》 ●次世代ナノインプリント技術動向 ~エポックメイキングな技術的ブレークスルーに 先ず半導体微細化の壁を突き破り、光学やバイオなどへ フォトリソグラフィーからナノインプリントへ 半導体製造におけるフォトリソグラフィー・プロセスは、フォトマスクと呼ばれる原版に描画された回路パターンを、露光装置を通して半導体基板上のレジストに転写し、エッチングマスクを形成する技術であり、これまでの半導体製造プロセスの中核技術として半導体産業の発展を支えてきた。 回路パターンの微細化の進展に対しては、露光する光源の波長を短くしたり、さらに、他のさまざまな技術を駆使することで対応してきたが、加工可能なパターン線幅は、原理的にも技術的にも限界に近づいてきている。 たとえば、最近では、複数回に分けて露光するマルチパターニング技術が実用化されているが、従来に比べ複雑かつ多くのプロセスを経ることから、コスト増の要因となっている。。。。 資料体裁:B5判約100~130ページ 発刊頻度:月1回発刊(年12回) 販売価格:97,142円(税別)(1ヵ年)
基本情報
定期刊行物「Yano E plus」(ヤノイープラス)は、エレクトロニクスを中心に、産業の川上から川下まで、すなわち素材・部材から部品・モジュール、機械・製造装置、アプリケーションに至るまで、成長製品、注目製品の最新市場動向、ならびに注目企業や参入企業の事業動向を多角的かつタイムリーにレポートいたします。 Yano E plus 2018年2月号(No.119) ◆産業用センサーの動向 外界用1:超音波センサー関連市場(1) 非破壊検査用や車載用を中心に今後も需要が拡大しつつ小型化・多素子型(フェイズド・アレイ式)の進展で新規需要も見込まれる ◆マテリアルズ・インフォマティクス技術動向 ◆次世代ナノインプリント技術動向 ◆次世代組込みシステム「CPS」と市場の動き(1) ◆窒化アルミニウム(AlN)単結晶市場 ◆「オートモーティブワールド2018」レポート コネクテッドカー、自動運転、車載HMI、車載ソフト等自動車産業の未来を担う展示と講演に1,063社が集結 資料体裁:B5判約100~130ページ 発刊頻度:月1回発刊(年12回) 販売価格:97,142円(税別)(1ヵ年)
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