回路形成材料 アデカエイフェススーパーシステム
自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理
基本情報
【特長】 ○専用エッチング液「アデカケルミカＴＦＥ－３０００シリーズ」により、サブトラクティブ法による微細配線を実現 ○ピッチ２５μｍ以下ＣＯＦにおいて、高エッチファクターの回路形成を可能にする ○自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理により、安定したファインエッチングを提供 【ラインナップ】 ○アデカエイフェススーパー装置 →用途：新規エッチング薬剤用自動管理装置 ○アデカケルミカ ＴＦＥ－３０００シリーズ →用途：ＣＯＦ用ファインエッチング ○アデカケルミカ ＴＦＥ－５０００シリーズ →用途：サブストレート用ファインエッチング ○アデカリムーバー ＮＲシリーズ →用途：Ni-Crシード除去剤 ○アデカケルミカ ＡＤシリーズ →用途：セミアディティブ工法用クイックエッチング液 ○アデカケルミカ Ｗシリーズ →用途：ウエハレベルＣＳＰ製造工程用選択エッチング液 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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納期
用途／実績例
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