半導体材料 ALD/CVD材料
高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発
基本情報
【特長】 ○業界に先駆けて新規ALD/CVD材料の開発に着手 ○高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発 ○国内外のお客様より高い評価 ○合成から一貫してクリーンルーム内で作業 ○スピーディーな製品設計が可能 ○試作から量産へのスムーズなシフトも実現できる専用工場で生産 【ラインナップ】 ○アデカスーパーTEOS →用途:層間絶縁膜 ○アデカ高純度TMB →用途:ドーパント ○アデカ高純度TEB →用途:ドーパント ○アデカ高純度TMP →用途:ドーパント ○アデカ高純度TMOP →用途:ドーパント ○アデカ高純度TEOP →用途:ドーパント ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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