【半導体製造向け】マグネット・カップリング
隔壁を介した非接触トルク伝達で、真空環境の維持と液漏れ防止を両立。
半導体製造プロセスにおいて、真空環境の維持は製品の品質を左右する極めて重要な要素です。回転駆動部を設ける際、軸貫通部からのリークは真空度低下や汚染の原因となるため、完全な密閉構造が求められます。当社のマグネット・カップリングは、隔壁を介して非接触で回転トルクを伝達できるため、駆動部を完全に遮断し、真空保持や液漏れ防止に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体製造装置内の真空ポンプ駆動 ・化学薬品を使用するプロセスでの液漏れ防止 ・メンテナンス頻度を低減したい回転駆動部 ・清浄さを求めるクリーン仕様 【導入の効果】 ・メカニカルシール不要による完全密閉構造の実現 ・長期メンテナンスフリー化による装置稼働率の向上 ・非接触伝達による摩耗粉の発生抑制
基本情報
【特長】 ■プロテリアルマグネティック社製超高性能磁石NEOMAXを使用 ■独自の磁気回路設計により小型ながら高トルク伝達を実現 ■高速回転に対応し、長期間安定した性能を維持 ■200℃の高温環境でも減磁しない材料を選択可能 ■半導体装置用ポンプでの採用実績あり 【当社の強み】 特殊鋼機械加工および熱処理工場を保有し、先端エレクトロニクス材料から制御製品まで幅広く取り扱っております。永久磁石の専門知識と輸入代理店としてのネットワークを活かし、お客様の用途に最適なソリューションをご提案いたします。
価格帯
納期
型番・ブランド名
シリンダー型、その他
用途／実績例
・マグネットポンプ（化学液や食品の撹拌、循環） ・真空ポンプ ・真空装置内へのトルク伝達等
