【半導体・電子・電気業界向けの資料「高性能チラーアプリケーションガイド」公開中】
株式会社アピステ
【高性能チラー「PCU-SLシリーズ」の特長を活かした、半導体・電子・電気業界向けのアプリケーションガイドを公開しました】 本資料では、当社の高性能チラー「PCU-SLシリーズ」を使用した 半導体・電子・電機業界向けのアプリケーションをご紹介しております。 真空蒸着装置やスパッタリング・エッチング装置、レーザー発振器の冷却などのアプリケーションにおける、 従来のさまざまな問題を高性能チラー「PCU-SLシリーズ」で解決いたします！ イラストも交えて分かりやすくご紹介しておりますので ご興味のある方は、下記の関連カタログよりPDFをダウンロード、もしくはお気軽にお問合せ下さい。 【掲載内容】 ■真空蒸着装置の冷却 ■スパッタリング・エッチング装置の冷却 ■半導体デバイスのエージング試験装置の温度条件 ■レーザー発振器の冷却 ■薬液タンクの温調
