【半導体向け】精密空調機PAUシリーズ
半導体製造の温度管理に。高精度空調で品質向上。
半導体業界では、製造プロセスにおける温度管理が製品の品質を左右する重要な要素です。特に、微細加工や高度な製造技術においては、温度のわずかな変動が歩留まりや性能に大きな影響を与える可能性があります。精密な温度管理は、製品の信頼性を確保し、不良品の発生を抑制するために不可欠です。アピステの精密空調機PAUシリーズは、温度±0.1℃、湿度±0.5％RHという超高精度な制御を実現し、半導体製造における厳しい温湿度管理のニーズに応えます。大型空調機と比較して、短時間かつ低コストでの導入が可能です。 【活用シーン】 ・クリーンルーム ・検査室 ・製造ライン ・研究開発施設 【導入の効果】 ・温度・湿度の安定化による歩留まり向上 ・製品品質の安定化 ・製造プロセスの最適化 ・省エネルギー化
基本情報
【特長】 ・温度コントロール ±0.1℃ ・湿度コントロール ±0.5％RH ・クリーン度コントロール クラス10～クラス10000 ・製造ラインの仕様・レイアウト変更にも柔軟に対応可能 【当社の強み】 「最高の技術・商品・誠意を提供したい」という理念のもと、環境改善機器、冷却機器、温調機器の開発・販売を行っています。
価格帯
納期
型番・ブランド名
アピステ PAUシリーズ
用途／実績例
【導入事例】 ■クリーンルーム、恒温室 ■露光装置 ■光学定盤 ■モールドプレス ■プローバー ■精密加工機 ■印刷機 ■充放電装置 ■各種分析・試験装置
