超小型オゾン水分解装置『OZK-ISC001』
紫外線照射式＋活性炭式でオゾンを分解。半導体や液晶製造プロセスで活躍
『OZK-ISC001』は、制御ユニット・分解塔・活性炭処理槽が 一体となった小型オゾン水分解装置です。 分解塔下部のIN側から入り塔内に溜められたオゾン水に溶解しているオゾンを 紫外線ランプ（254nm）の光で分解。さらに、分解塔の後段に設置した 活性炭槽でオゾンの分解を促進します。 半導体や液晶製造プロセスで活躍する製品です。 【標準仕様】 分解原理：紫外線照射式＋活性炭式 分解対象液：純オゾン水 分解液温度：20～50℃（周囲温度：15～40℃、90％RH以下） 使用圧力範囲：0.4MPa以下 使用流量：20L/min以下（条件による） 分解後の濃度：5ppm以下（条件による） ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報
【その他の標準仕様】 電源：AC200V±10％、2A、50/60Hz 接液部：PTFE、SUS316、石英ガラス、O-リング 寸法：W643×H482×D193mm （分解塔の容積：約1.5L 活性炭：1L搭載） ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 ※当装置の性能は流量に大きく依存します。仕様により性能は異なりますので、ご相談ください。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
