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オゾン水分解装置

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オゾン水分解装置OZK-U85-S1-EVG200はオゾン水中に溶解しているオゾンを紫外線ランプにより分解するもので、主に半導体または液晶製造プロセスなどで使用される純オゾン水の分解用として使用されます。