メタルベローズポンプ
メタルベローズポンプ
メタルベローズポンプはフレキシブルなステンレス製ベローズダイアフラムの特長を生かしたリークレスの容積式ポンプです。ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 ＜特長＞ ■優れた気密性 1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He) ■コンタミネーションはありません。 ■汎用ガスをはじめ、腐食性ガス、その他 特殊流体等の環境下でも使用可能です。 ■防爆仕様、可変速運転等 ご要求に応じ個別仕様も製作可能です。
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＜ダブルコンテイメント型＞メタルベローズポンプ MB-601DC
【気体用】二重ベローズ構造で外部へのリークを完全にシャットオフ！！
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＜高圧型＞ メタルベローズポンプ MB-601HP
【気体用】275kPaG以上の昇圧、循環用途で使用可能です！
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＜高温型＞ メタルベローズポンプ MB-601HT
【気体用】高温ガス対応のダブルヘッドのシリーズ。高温タイプでは最も大流量のラインアップとなります。
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＜高温型＞ メタルベローズポンプ MB-302HT
【気体用】高温ガス用途でシングルヘッドのシリーズです。280kPaまで昇圧可能です。
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＜高温型＞メタルベローズポンプMB-118HT/MB-158HT
【気体用】230℃の高温ガスでも使用可能なシリーズ。高温ガスの他、排ガス等のサンプリング分析に好適です。
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＜標準型＞ メタルベローズポンプ MB-602
【気体用】ダブルヘッドタイプで最も大流量のシリーズ。並列で台数を増やすことが出来ます。
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＜標準型＞ メタルベローズポンプ MB-601
【気体用】ダブルヘッドタイプのシリーズ。各種用途に応じた設計対応が可能となります。
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＜標準型＞ メタルベローズポンプ MB-302
【気体用】シングルヘッドタイプで大流量シリーズ。280kPaまで昇圧可能。各種研究、実験用途での豊富な実績があります。
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＜標準型＞メタルベローズポンプMB-111／MB-151
中型機種になり吐出圧・流量とも用途幅の広いシリーズ。半導体プロセスガス、ヘリウム3等の循環用途で実績があります。
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＜標準型＞ メタルベローズポンプ MB-118/MB-158
【気体用】装置組込用やガスの移送、貯蔵、循環ライン等に適したシリーズです。
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＜標準型＞メタルベローズポンプMB-10/MB-21/MB-41
【気体用】小型・軽量の標準型シリーズ。サンプリング分析等に適しています！
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