メタルベローズポンプ
メタルベローズポンプ
メタルベローズポンプはフレキシブルなステンレス製ベローズダイアフラムの特長を生かしたリークレスの容積式ポンプです。ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 ＜特長＞ ■優れた気密性 1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He) ■コンタミネーションはありません。 ■汎用ガスをはじめ、腐食性ガス、その他 特殊流体等の環境下でも使用可能です。 ■防爆仕様、可変速運転等 ご要求に応じ個別仕様も製作可能です。
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メタルベローズポンプMODEL PWSC 28823-7
軽量タイプのシリーズで高周波仕様です。 商用航空機に搭載実績がありリプレイスの対応も可能です。
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メタルベローズポンプMB-151DC / MB-601DC
二重ベローズ構造により外部リークを完全に遮断します。リーク検知機能を備え放射性や危険性ガスの特殊ガス用途で実績があります。
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メタルベローズポンプMB-151HP / MB-601HP
標準型では対応できない275kPaG以上の昇圧、循環用途で使用可能です。
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メタルベローズポンプMB-601HT
高温ガス対応のダブルヘッドのシリーズ。高温タイプでは最も大流量のラインアップとなります。
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メタルベローズポンプMB-302HT
高温ガス用途でシングルヘッドのシリーズです。280kPaまで昇圧可能です。
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メタルベローズポンプMB-118HT／MB-158HT
230℃の高温ガスでも使用可能なシリーズ。高温ガスの他、排ガス等のサンプリング分析に好適です。
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メタルベローズポンプMB-602
ダブルヘッドタイプで最も大流量のシリーズ。並列で台数を増やすことが出来ます。
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メタルベローズポンプMB-601
ダブルヘッドタイプのシリーズ。各種用途に応じた設計対応が可能となります。
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メタルベローズポンプMB-302
シングルヘッドタイプで大流量シリーズ。280kPaまで昇圧可能。各種研究、実験用途での豊富な実績があります。
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メタルベローズポンプMB-111／MB-151
中型機種になり吐出圧・流量とも用途幅の広いシリーズ。半導体プロセスガス、ヘリウム3等の循環用途で実績があります。
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メタルベローズポンプMB-118／MB-158
装置組込用やガスの移送、貯蔵、循環ライン等に適したシリーズです。
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メタルベローズポンプMB-10／MB-21／MB-41
軽量／小型のシリーズ。サンプリング分析等に適しています。
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