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マスフローコントローラ『Aera FC-R7800シリーズ』

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マスフローコントローラ『Aera FC-R7800シリーズ』

設定値入力後1秒未満で流量安定！高精度・高信頼のメタルシールモデル！

『Aera FC-R7800シリーズ』は、高精度の流量制御を行うだけでなく、 メタルシールによる優れた高い気密性を備えたシステムです。 主要なガス制御アプリケーションに適しています。 ⾼感度、⾼速応答性の⼩型センサーを搭載するなど技術の進歩により、 優れた制御性を発揮します。 【特長】 ■耐腐食設計 ■メタルシール採用 ■VCR、Swagelok互換の接続部 ■10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ ■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.ask-ibs.jp/goods/detail.php?id=340

基本情報

【仕様(一部)】 ■フルスケールレンジ：10sccm~5slm ■応答時間：1秒以下(0~100% ±2%以内Typical)SEMI E17-91 ■精度：フルスケールの±1%以下 ■直線性：フルスケールの±0.5%以下 ■再現性：フルスケールの±0.2%以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格情報

-

納期

型番・ブランド名

FC-R7800シリーズ

用途／実績例

【用途】 ■半導体製造プロセス・各種検査／分析機器・内燃機関・成膜装置 　燃料電池・液晶・光ファイバー・有機EL・環境計測・バイオ・食品

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マスフローコントローラ Aera　FC-R7800シリーズ

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