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デジタルマスフローコントローラ Aera Transformer

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デジタルマスフローコントローラ Aera Transformer

包括的な通信・制御！コスト削減に寄与する汎用性に優れたマスフローコントローラ

『Aera Transformer』は、CAD、PVD、拡散、エッチングなど様々な アプリケーションに適したデジタルマスフローコントローラです。 当製品が生み出す薄膜成長とエッチング特性は、優れた均質性とともに 高い再現性を誇ります。 優れた応答性、正確性、再現性によって、装置の生産性と生産歩留まりが 向上します。 【特長】 ■マルチガス・マルチレンジ ■高速応答性 ■100％メタルシール・高純度設計 ■DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.ask-ibs.jp/goods/detail.php?id=339

基本情報

【その他の特長】 ■多彩な警告・診断機能 ■RoHS適合 ■フィールドでプログラム可能* ■再校正をしなくても様々なガス選択が可能* ＊マルチガス・マルチレンジTransformer MFCのみ対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格情報

－

納期

型番・ブランド名

Transformer

用途／実績例

【用途】 ■半導体製造プロセス・各種検査／分析機器・内燃機関・成膜装置・燃料電池 　液晶・光ファイバー・有機EL・環境計測・バイオ・食品

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デジタルマスフローコントローラAera Transformerシリーズ

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