ALIO Industries 大口径アパチャ薄型ステージ
リニアモーター搭載で超大口径アパチャー薄型ステージ
リニアモーターを利用した超大開口の超薄型回転ステージ。その特徴を生かし、Monolithic XYステージと組み合わせて、アライメントやActive yewに適したステージです。 大型ウェハの微調整用におすすめです！ぜひ動画をご覧ください
基本情報
開口径φ56～312mm 分解能0.01-0.04 arc-sec 繰り返し精度～ ±30nm ■超薄型を実現した回転ステージ！ 駆動モーターをリニアモーターにして、超薄型でサブ秒角の繰り返し精度を持った回転ステージ。その厚さは36ｍｍという薄型を実現！ ■高性能モーター/光学エンコーダー採用 欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。MTBF>100,000h。 ■様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。 400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格帯
納期
用途／実績例
大型ウェハの微調整用途など 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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