オフライン検査装置『MICRO ACEシリーズ』

『MICRO ACEシリーズ』は、アヤハエンジニアリングが取扱う オフライン検査装置です。 分解能1.4μ～超高分解能検査が可能な「OMI-UL」は、3D計測器と連携でき、 検査MAPからボタン1つで欠陥の深さを測定することが可能です。 他にも、コンパクトタイプの「OMI-SP」や、10～100μで簡易検査が可能な 「OMI-FE」などをラインアップしています。 【特長】 ＜OMI-UL＞ ■分解能01.4μ～超高分解能検査が可能 ■焦点深度が広く欠点の全形撮像が可能、ピントによるバラツキなし ■豊富な光学系の組み合わせと、画像処理による欠点種弁別が可能 ■レーザー顕微鏡（オプション）の3D計測による欠点解析が可能 ■ディスプレイ、電子材料、電池向けなど先端素材の研究開発シーンでも活躍