フルパネル量産投影露光装置『CMS-Ck』　★デモ受付中！

解像力とアライメント精度を高め、量産プロセスに対応可能。UV-LED光源を採用し、ランニングコストを低減します

最終更新日 2025年03月11日

露光機用 UV-LED光源『ULA シリーズ』

水銀ランプの代替に！各種光学仕様に対してカスタマイズ可能！

最終更新日 2025年03月11日