株式会社サーマプレシジョン 公式サイト

弊社の塗布機は枚葉処理を基本コンセプトとしたスリットコーターです。 各種基板にフォトレジスト等の機能性材料を塗布するスリットコート法の装置です。 御客様のニーズに合わせラボ用から量産設備までご提供します。 【特徴】 ●評価用装置 　・機能拡張が容易 　・装置操作が容易 　・装置保守が容易 ●量産用装置 　・高いスループット 　・高い塗布液使用効率 　・高い面内膜厚均一性 【製品ラインナップ情報】 　・スロットダイ走行型 　SCSシリーズ 　・基板固定ステージ走行型　SCTシリーズ 　・インライン搬送型　SCLシリーズ 　・ラボ型　SCRシリーズ 　・ロールツーロール型　SCRシリーズ 【その他】 スリットコーター以外にインクジェットコーターもご提案する事が可能で、量産機としての実績があります。塗布工程に関連する塗布前のウエット式やドライ式洗浄装置や塗布後の熱風、IR、ホットプレート式乾燥装置、減圧乾燥装置等を塗布システムとして提案します。

１．デモ環境について 　３０００ｍｍｘ２０００ｍｍ　クラス１０００環境にデモ機を整備し 　ています。 　　・クリーンブース 　　・スリットコーター 　　・ホットプレート 　　・減圧乾燥 ２．デモ依頼について 　デモ検討にあたり以下情報が必要となります。 　　・塗布材料（粘度） 　　・洗浄材料（溶媒種） 　　・テスト基板（サイズと枚数） 　　・塗布条件（ウエット膜厚、ドライ膜厚） 　　・乾燥条件（加熱温度と加熱時間） ３．装置検討依頼（例：概算見積依頼）について 　以下基本項目を選択してください。 　　・装置種類は、「スロットダイ走行型」又は、「ステージ走行型」 　　・基板搬送は、「ロボット搬送型」又は、「コンベア搬送型」 　　　若しくはその他御客様構想） 　　・設置寸法は、「制限あり」又は、「制限なし」 　　・基板サイズは、「１種類」又は、「２種類以上」 　　・材料種類は、「1種類」　又は、「2種類以上」 　選択頂いた内容と塗布に関する基本情報を元に装置提案いたします。 ご不明な点がございましたら、営業担当　川井まで問合せ下さい。

基本情報欄の「装置検討について」を回答いただければ参考額は回答させていただきます。

弊社は東京都江東区を拠点に事業活動しています。　お近くにお寄りの際は、ご連絡下さい。ご連絡お待ちしています。