薬液用マニュアルバルブ 「MMD※03RNシリーズ」
選びやすさと使いやすさを追求!
基本情報
使用流体:薬液、純水、空気、N2ガス 流体温度:5〜120℃ 耐圧力:1.0MPa
価格帯
納期
型番・ブランド名
MMD
用途/実績例
半導体製造装置など
詳細情報
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【使用圧力範囲を拡大】 従来品パート2シリーズより使用圧力範囲を拡大。 A、Bポートの使用圧力を共通化。
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【使用温度範囲を拡大】 材質の見直しによる高温対応。
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【標準仕様で様々な薬液に対応】 耐薬品性に優れたフッ素樹脂「PVDF」を アクチュエータに採用することで、酸・アルカリ問わず、形番の使い分け無しで幅広く対応。
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【シール部破損防止】 締め付け防止機構付きハンドル:シールに適正な締め付け状態になるとハンドルが空回りし、過剰締め付けを防止。
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【誤作動防止】 ロックリング:ロック機構・カバー機構により意図しない開閉を防止。
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【シール部破損防止】 締め付け防止機構付きハンドル:CKDオリジナルの構造で、ハンドル動作によるシール部の破損リスクを極限まで抑制。