薬液用マニュアルバルブ 「MMD※03RNシリーズ」
選びやすさと使いやすさを追求!
基本情報
使用流体:薬液、純水、空気、N2ガス 流体温度:5〜120℃ 耐圧力:1.0MPa
価格帯
納期
型番・ブランド名
MMD
用途/実績例
半導体製造装置など
詳細情報
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【使用圧力範囲を拡大】 従来品パート2シリーズより使用圧力範囲を拡大。 A、Bポートの使用圧力を共通化。
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【使用温度範囲を拡大】 材質の見直しによる高温対応。
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【標準仕様で様々な薬液に対応】 耐薬品性に優れたフッ素樹脂「PVDF」を アクチュエータに採用することで、酸・アルカリ問わず、形番の使い分け無しで幅広く対応。
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【シール部破損防止】 締め付け防止機構付きハンドル:シールに適正な締め付け状態になるとハンドルが空回りし、過剰締め付けを防止。
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【誤作動防止】 ロックリング:ロック機構・カバー機構により意図しない開閉を防止。
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【シール部破損防止】 締め付け防止機構付きハンドル:CKDオリジナルの構造で、ハンドル動作によるシール部の破損リスクを極限まで抑制。
関連動画
カタログ(7)
カタログをまとめてダウンロードこの製品に関するニュース(2)
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【2024年12月11日(水)〜13日(金)】SEMICON Japan 2024 出展のご案内
CKD株式会社は、東京ビッグサイトで開催される『SEMICON Japan 2024』に出展いたします。 ニーズにお応えする厳選商品を展示しますので、ぜひ会場でご覧ください。
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【CKD】2022/12/14(水)~12/16(金)SEMICON JAPAN 2022 に出展します。
電動アクチュエータ、薬液用バルブ、高温高耐久ガスバルブなど幅広いラインアップを展示予定でございます。 ●会期 :2022年12月14日 (水) 〜 16日 (金) ●開催時間 :10:00~17:00 ●会場 :東京ビッグサイト ●小間番号 :東4ホール 4708