エアオペレイトバルブ「AGDシリーズ」
メタルダイアフラムを採用したプロセスガス用バルブです 3方弁、2連3方弁など多種多様なバリエーションに対応をしております。
【スタンダードタイプ】 耐久性:100万回(実績値400万回) 集積化ガス供給システムに対応(1.5inch、1.125inch) 【内部シールの性能アップ】 最適なシール構造と面粗度の向上によるパーティクルの発生を削減。
基本情報
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価格帯
納期
型番・ブランド名
AGD
用途/実績例
薬ガス供給設備向け機器 薬液供給設備向け機器 半導体製造工程(前工程) N2パージ関連機器