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プロセスガス用レギュレータ「PGMシリーズ」

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プロセスガス用レギュレータ「PGMシリーズ」

業界最高クラスのシール性能・ヒステリシス・繰り返し再現性を誇るCKDのプロセスガスレギュレータ。

供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。 【高シール性】 プロセス安定化に貢献 ● 弁座部の最適設計と超精密加工 ● 弁閉動作時の2次側への漏れ（出流れ）を極限まで抑制 【高い微小流量制御性】 安定かつスムーズな動作を実現 ● 弁座部形状の最適設計 ● 微小流量でも安定制御 【ヒステリシス低減】 狙いの圧力に確実にミート ● 高品質材料の採用 ● 超精密加工

CKD 「PGMシリーズ」商品ページ

基本情報

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価格帯

納期

型番・ブランド名

PGM

用途／実績例

薬ガス供給設備向け機器 薬液供給設備向け機器 半導体製造工程（前工程） N2パージ関連機器

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自動車・家電・半導体など、あらゆる産業分野の自動化に貢献するリーディングカンパニーです。 事業は大きく２つに分かれます。 【自動機械装置の開発・製造・販売・輸出】 蛍光灯やバックライトなどの照明製造システム、薬品や食品などの自動包装システム、コンデンサやリチウムイオン電池などの製造システム、画像処理を使った三次元はんだ印刷検査機など。 【機能機器の開発・製造・販売・輸出】 さまざまな機械や生産ラインに使われる各種パーツ・空気圧機器、流体制御機器、半導体関連機器、省力機器など。

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