CKD シロキサン・オゾンリムーバ 「SFXシリーズ」
1台で シロキサン・オゾン 2種類の汚染物質除去
■1台で2種類の汚染物質除去 活性炭エレメントを採用し、シロキサンとオゾンを1台で除去 ■高圧・大流量対応可能 圧縮空気・窒素ガスを加圧状態のまま、大流量で使用可能 ■高い除去率 99％以上のシロキサン吸着性能・オゾン分解性能 ■省スペース 当社調質機器とモジュール接続が可能で省配管を実現
基本情報
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価格帯
納期
用途／実績例
ライン・システムのクリーンエア化 ＞電子部品・光学部品製造ライン ＞半導体製造システム ＞二次電池製造システム などおすすめ
