ファインレベルスイッチ「KMLシリーズ」 | ＣＫＤ - Powered by イプロス

ファインレベルスイッチ「KMLシリーズ」

KMLシリーズは、純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します

薬液槽の液面検出に適した”エア方式”で薬液雰囲気による腐食や引火の心配がなく、半導体製造、化学プロセスに最適です ■ 腐食・防爆対策が容易接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できます。 ■設置コストを削減蒸気、飛沫、雫、温度、薬液（刺激臭、引火性、腐食性）の影響を受けないため、対策費用が抑えらえれ、設置も簡単です。 ■ コンパクト槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません ■メンテナンスフリー常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。

CKD「KMLシリーズ」製品ページ

基本情報

KML502：100万回動作保証、ダイアフラム耐久性向上、25％軽量化、RoHS2対応 MKML2：マニホールドタイプ、供給ポートは“上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし（７→3箇所）作業性改善 KML703：目視できない槽内の水深が数値でわかる、省スペースと堅牢性を考慮し表示器とセンサ本体を分離

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KML

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ウェハ洗浄装置※カタログに事例あります

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