集積化ガス供給システム「IAGD5」
省スペース、メンテナンス性を向上させたプロセスガス供給システムです。 お客様のご要望フローに応じ、設計から製作まで行います。
【集積ユニット】 プロセスガス供給ラインを標準化されたパーツでコンパクトに集積化。 プロセスガスと不活性ガスの高速置換を可能とする理想的な流路を実現。 設計から組立、検査後に納品し、お客様の工数を削減。 詳しくはカタログをDLいただくか、CKD内商品ページをご覧ください。
基本情報
1.125inch、Wシール対応。
価格帯
納期
型番・ブランド名
IAGD5
用途／実績例
半導体製造工程（前工程） 薬ガス供給設備向け機器
