CKD 低圧電空レギュレータ EVLシリーズ
50kPa以下での比例制御を0kPaから高精度に自在にコントロールできる小形/低圧/電空レギュレータです。
基本情報
詳しくはCKDホームページをご覧ください
価格情報
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納期
型番・ブランド名
EVLシリーズ
用途/実績例
CMP装置、研磨力コントロール
50kPa以下での比例制御を0kPaから高精度に自在にコントロールできる小形/低圧/電空レギュレータです。
詳しくはCKDホームページをご覧ください
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EVLシリーズ
CMP装置、研磨力コントロール