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CKD 低圧電空レギュレータ EVLシリーズ

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使用事例　CMP装置.png
使用事例 研磨力コントロール.png

CKD 低圧電空レギュレータ EVLシリーズ

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EVL (2).jpg 使用事例　CMP装置.png 使用事例 研磨力コントロール.png

50kPa以下での比例制御を0kPaから高精度に自在にコントロールできる小形/低圧/電空レギュレータです。

■特徴 【低圧コントロール】 　0~50kPaまでの低圧制御が可能。 【高精度コントロール】 　ヒステリシス：0.5%F.S. 　分解能：0.2%F.S. 【クリーン】 　流路部ノングリス 【保護構造IP64】 　電気配線：M12コネクタ ■事例 　研磨力コントロールやCMP装置など

CKD 「EVLシリーズ」商品ページ

基本情報

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価格情報

-

納期

型番・ブランド名

EVLシリーズ

用途／実績例

ＣＭＰ装置、研磨力コントロール

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自動車・家電・半導体など、あらゆる産業分野の自動化に貢献するリーディングカンパニーです。 事業は大きく２つに分かれます。 【自動機械装置の開発・製造・販売・輸出】 蛍光灯やバックライトなどの照明製造システム、薬品や食品などの自動包装システム、コンデンサやリチウムイオン電池などの製造システム、画像処理を使った三次元はんだ印刷検査機など。 【機能機器の開発・製造・販売・輸出】 さまざまな機械や生産ラインに使われる各種パーツ・空気圧機器、流体制御機器、半導体関連機器、省力機器など。

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