CKD フロートスター GFMシリーズ
非接触浮上搬送を可能にする浮上プレートです。 様々な用途に合わせ、5種類のレール、パットから選択可能です。
基本情報
詳しくはCKDホームページをご覧ください
価格情報
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納期
型番・ブランド名
ＧＦＭシリーズ
用途／実績例
ガラス基板等の搬送からプロセス、製品検査に至るまで、基板の浮上用途・高精度浮上に対応 位置決め・ラフ搬送・搬送・ローダー・アンローダー・各種プロセス
詳細情報
ラインアップ（4）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| GFM-T | 高浮上レール・浮上量250μm以上 |
| GFM-RS | 浮上レール 標準タイプ・浮上量150μm以上 |
| GFM-RF | 浮上レール 汎用タイプ・浮上量150μm以上 |
| GFM-P | 精密浮上ステージ・浮上量30±6μm |
