【応用事例】半導体製造 製造工場をサポート
先端のトランジスタノードからレガシーノードに至るまで！半導体製造 製造工場をサポート
当社の製品は、欠陥の特定および回避、Low-k誘電体などの高度な材料の 加工により、先端のトランジスタノードからレガシーノードに至るまで 製造工場をサポートします。 幅広い製品ラインアップの短波長レーザにより高解像度を実現可能。 出力の向上とレーザの短波長化により、欠陥検知感度の向上と処理の 高速化を実現しています。また、当社のUV/DUVレーザは、卓越した 経験に裏打ちされた優れた信頼性を備えています。 【目的別ラインアップ(一部)】 ■ウェハ検査 ・PALADINシリーズ ■マスクライティング ・INDYSTAR ・GENESIS ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他目的別ラインアップ(抜粋)】 ■マスク検査 ・AZURE NX ・INDYSTAR ・INNOVAシリーズ ・OBIS CORE LS ■ウェハレーザアニーリング ・DCシリーズ ・REVOLUTION ・COMPEX ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
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取り扱い会社
Coherent Corp.は、産業、通信、エレクトロニクス、装置組込み市場向けの材料、ネットワーク、レーザのグローバルリーダーです。 本社はペンシルベニア州サクソンバーグにあります。 1971年、産業用レーザの高品質な材料と光学部品を製造するために設立されました。 現在では、世界20か国以上で事業を展開しています。 Coherentは、「より安全で、より健康的で、より身近で、より効率的な世界を実現する」というミッションを追求しながら、市場のメガトレンドに対応するイノベーションの実現に注力しています。 Coherentは、材料からシステムに至るまで、画期的なテクノロジーを通じて市場のイノベーターに未来を定義する力を与える会社です。 お客さまのケースにあわせて、製品選定のお手伝いをいたします。 お気軽にお問合せください。
