【応用事例】半導体製造 製造工場をサポート
先端のトランジスタノードからレガシーノードに至るまで！半導体製造 製造工場をサポート
当社の製品は、欠陥の特定および回避、Low-k誘電体などの高度な材料の 加工により、先端のトランジスタノードからレガシーノードに至るまで 製造工場をサポートします。 幅広い製品ラインアップの短波長レーザにより高解像度を実現可能。 出力の向上とレーザの短波長化により、欠陥検知感度の向上と処理の 高速化を実現しています。また、当社のUV/DUVレーザは、卓越した 経験に裏打ちされた優れた信頼性を備えています。 【目的別ラインアップ(一部)】 ■ウェハ検査 ・PALADINシリーズ ■マスクライティング ・INDYSTAR ・GENESIS ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他目的別ラインアップ(抜粋)】 ■マスク検査 ・AZURE NX ・INDYSTAR ・INNOVAシリーズ ・OBIS CORE LS ■ウェハレーザアニーリング ・DCシリーズ ・REVOLUTION ・COMPEX ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
関連動画
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
この製品に関するニュース（19）
-
Coherent 医療機器製造向けExactWeld 410 レーザ溶接システムを発表
Coherent Corp(NYSE：COHR)は、医療機器製造用の ExactWeld 410 レーザ溶接システムを導入しました。 患者の生活の質と寿命を向上させるために医療機器への依存が進んでおり、 医療機器製造における高品質で信頼性の高い精密溶接に対する需要が急速に 高まっています。 CoherentのExactWeld410は、医療機器の精密溶接に対する厳しい要件に 適応しています。設置面積が貴重な場合でも、生産ラインに適合する 最小の設置面積で適切な所有コストを実現するよう構築されており、 幅広いアプリケーションと生産ニーズをサポートし、プロセス品質の トレーサビリティを提供します。
-
医療機器製造向けExactWeld 410レーザ溶接システムを発表
当社は、医療機器製造用のExactWeld 410レーザ溶接システムを導入しました。 患者の生活の質と寿命を向上させるために医療機器への依存が進んでおり、 医療機器製造における高品質で信頼性の高い精密溶接に対する需要が急速に高まっています。 ExactWeld410は、この新しいシステムは、医療機器の精密溶接に対する 厳しい要件に適応しています。設置面積が貴重な場合でも、生産ラインに適合する 最小クラスの設置面積で好適な所有コストを実現するよう構築されており、 幅広いアプリケーションと生産ニーズをサポートし、プロセス品質の トレーサビリティを提供します。
-
コンシューマー・グッズ、産業用電子機器、パッケージング用途向け/低価格の「MATRIX UVパルスレーザ」を発表
当社は、コンシューマー・グッズ（消費財）、産業用電子機器、家電製品、 およびパッケージングの高コントラストマーキングアプリケーション用途 向けに、超低コスト「MATRIXナノ秒パルスUVレーザ」の導入を発表しました。 当製品は、既存のソリューションのエントリー価格の半額で優れた マーキング品質を提供するLD励起固体レーザ。 5W及び10Wの平均出力、50-300kHzの繰返周波数で動作可能です。 また、15,000時間以上のメンテナンスフリー動作を実現し 信頼性の高い大量生産が可能となります。 UV(355nm)発振にて、最大200μJのパルスエネルギーを実現しており、 現場で実証済みのUVテクノロジーを採用しているため、要求の厳しい アプリケーションにてご利用いただけます。
-
Coherentの新しい「LabMax Touch Pro」、タッチ操作で包括的なレーザ測定が可能に
当社の新しい「LabMax Touch Pro」は、工場や研究室の過酷な環境に耐える 高精度な出力計を提供してきた当社の長い歴史に基づいています。 直感的なタッチスクリーンインターフェースにより、豊富なデータ収集・解析 機能を簡単に利用できる、フル機能のレーザ出力/エネルギー測定器システム です。たとえば、ライブ表示、統計、トレンド、チューニング、ヒストグラム、 ビーム位置情報などの様々な測定データや解析に、ディスプレイ上で1～2回の ジェスチャーを実行するだけで到達可能。 また、Coherentレーザ出力およびエネルギーセンサーの包括的なラインアップ 全体との完全な互換性を提供し、サーモパイルセンサー、パイロエレクトリック センサー、半導体センサーに加え、当社独自のPowerMax Proセンサーなどに 対応します。 さらに、焦電式検出器では25 kHz、PowerMax Proセンサーでは最大1 MHzの 高速サンプリングを実現します(これにより、高出力レーザのパルス形状特性を 評価することができます)。
-
フローサイトメトリー用の新しい紫外線レーザ
Coherent OBIS XTシリーズのコンパクトな「スマート」紫外線レーザが、 最大出力150ミリワット、波長320nmに強化されました。 コンパクトで信頼性の高い「Coherent OBIS XTレーザシリーズ」に、 20mWまたは40mWのCW出力を備えた製品、「OBIS 320 XT」を新たに追加。 「OBIS 349 XT」と「OBIS 360 XT」は、それぞれ波長349nmと360nmで150mWの 出力を持つレーザとして発売されました。特に349nmの波長は、紫外線の サイトメトリー用途で主流となっています。最大出力が50％向上することで、 より高速な計数とソートが可能になります。360nmの高出力は、精子の性選別 のようなタスクでより速いスループットを実現します。 また、フローサイトメトリー用の小型レーザのほとんどは、耐用年数が過ぎると 廃棄されます。これに対し、「OBIS XTレーザ」は、工場で修理が可能であること を大きな特長としています。これにより、OEMやエンドユーザーにとって、信頼性 の高いレーザの価値をさらに高めることができます。
取り扱い会社
Coherent Corp.は、産業、通信、エレクトロニクス、装置組込み市場向けの材料、ネットワーク、レーザのグローバルリーダーです。 本社はペンシルベニア州サクソンバーグにあります。 1971年、産業用レーザの高品質な材料と光学部品を製造するために設立されました。 現在では、世界20か国以上で事業を展開しています。 Coherentは、「より安全で、より健康的で、より身近で、より効率的な世界を実現する」というミッションを追求しながら、市場のメガトレンドに対応するイノベーションの実現に注力しています。 Coherentは、材料からシステムに至るまで、画期的なテクノロジーを通じて市場のイノベーターに未来を定義する力を与える会社です。 お客さまのケースにあわせて、製品選定のお手伝いをいたします。 お気軽にお問合せください。
