ウェーハジェットスクラバー
ウェーハ単体、ウェーハリング等に対応！専用ノズル追加で界面活性剤を塗布可能
当社の、純水のみで高速洗浄する『ウェーハジェットスクラバー』を ご紹介します。 「WJS-150B」をはじめ「WJS-200B」や「WJS-300B」をラインアップ。 また、ウェーハ単体、ウェーハリング（ハーフカット、フルカット、 エクスパンド）等々、さまざまな工程に対応可能です。 【特長】 ■純水のみで高速洗浄 ■さまざまな工程に対応可能 ■専用ノズル追加で、ブラシ洗浄時に界面活性剤（中性/弱アルカリ）を塗布可能 ■オプションでブラシ押付圧力機構を取付可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様（一部）】 ■高速JET洗浄：～100kg/cm2 ■ブラシ洗浄：ナイロン、ベルクリン（選択） ■超音波洗浄：1.1MHz ■2流体洗浄：専用ノズル ■ステージ回転数：3,000rpm ■品種登録数：10ch ■洗浄ステップ：20ステップ ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■ウェーハ単体、ウェーハリング（ハーフカット、フルカット、エクスパンド）等 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
