ウェーハジェットスクラバー
ウェーハ単体、ウェーハリング等に対応!専用ノズル追加で界面活性剤を塗布可能
基本情報
【仕様(一部)】 ■高速JET洗浄:~100kg/cm2 ■ブラシ洗浄:ナイロン、ベルクリン(選択) ■超音波洗浄:1.1MHz ■2流体洗浄:専用ノズル ■ステージ回転数:3,000rpm ■品種登録数:10ch ■洗浄ステップ:20ステップ ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途/実績例
【用途】 ■ウェーハ単体、ウェーハリング(ハーフカット、フルカット、エクスパンド)等 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。