ウエハーマウンター
独自の真空貼付方式!塗布技術のノウハウにより凹凸の大きなパターンにも対応
『ウエハーマウンター』は、ウエハー薄板化および薄基板工程流動を サポートする製品です。 LD、LED、MMICなどの薄板化工程に使用されるウエハーを支持基板に 貼り合わせ、カセットに収納。 アニール後の薄板ウエハーの支持基板によるサポートにも対応します。 また、WAXメーカーとのアライアンスによるプロセス提案が可能です。 【特長】 ■薄板化工程に使用されるウエハーを支持基板に貼り合わせ、カセットに収納 ■アニール後の薄板ウエハーの支持基板によるサポートにも対応 ■WAXメーカーとのアライアンスによるプロセス提案が可能 ■塗布技術のノウハウにより凹凸の大きなパターンにも対応 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ラインアップ】 ■DMT-150 ■DMT-200 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途/実績例
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