高機能自動外観（チップ6面）検査装置

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自由なハードウェア選択！カメラ、レンズ、PCなど市場にある機器が自由に使用可能

『高機能自動外観（チップ6面）検査装置』は、半導体チップの寸法測定や傷検査といった高精度な外観検査を簡単に行えます。 Z軸画像合成処理により高倍率レンズ使用時においても高速にて深度の深い画像が得られ、傾斜したワークにおいて平面補正も行うことが可能。カメラ、レンズ、PCなど市場にある機器が自由に使え、ラインカメラでのリアルタイム観察もできます。お客さまの仕様に合わせた選択が可能です。【特長】 ■高速長深度測定（多焦点撮像） ■高精度測定 ■自由組換え画像処理フロー ■高速6面検査測定 ■ダメージレスハンドリング機構 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【標準装置仕様（一部）】 ■測定ステージ：6面ステージ仕様（前端面、右側面/上面、後端面、左側面）底面は搬送時測定 ■オートフォーカス：Z軸（設定分解能0.1μm）高速オートフォーカス機能（200msec/20枚）　※露光時間によって変わる ■対物レンズ：20X（自由に選択可） ■検査分解能：1μmのキズ、コンタミ検査可　分解能0.25μm（20X時） ■照明：同軸落斜照明（3色高輝度LED）、リング照明（3色LED照明：ローアングル） ■除振台：アクティブ空圧除振台 ■制御：PC（Windowsベース） ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯

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納期

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用途／実績例

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取り扱い会社

ダイトロン株式会社

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一歩先の価値を創造し、新たなるフィールドへ。ダイトロングループは、高水準の企画開発力とマーケティング力、製造技術力を併せ持つエレクトロニクスの技術商社です。国内外に広がるネットワークを駆使し、各分野で高い専門性を誇るグループ会社と連携を図ることで、いつの時代もお客様ニーズの一歩先をいく価値を創造してきました。それは、私たちの誇りであるとともにアイデンティティでもあります。情報技術を通して、世界に貢献したい。これからも時代が求める課題に応え、新たなるフィールドを目指して、次から次へと進化し続けます。

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