真空装置
真空装置
各種プラズマを用い、対象物の剥離から有機物除去、表面改質による親水性の向上等、さまざまな分野、用途にプロセスをご提案し、お客様と共により良い条件を見出していきます。長年培ってきた半導体・LCD業界を初め、金属業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。
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ハンディタイプ 大気圧プラズマ照射装置 HAPYシリーズ
持ち運びが容易なアタッシュケースサイズの大気圧プラズマ照射装置です。
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真空装置 平行平板評価用プラズマ処理装置
半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広く利用
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真空装置 基板用平行平板プラズマ処理装置 PC-RIEシリーズ
処理可能基板サイズ550×650ｍｍ。無廃液化・低ランニングコストを実現。
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バレルタイププラズマ処理装置 ＰＢシリーズ
等方性プラズマを利用 微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質に最適！
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コンパクトでアタッシュケースに格納可能！大気圧プラズマ照射装置
Heガスボンベ/AC100V電源に接続するだけで簡単に実験可能！持ち運びが容易なハンディタイプのプラズマ照射装置！
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平行平板式減圧プラズマ処理装置 真空プラズマ装置
各種基板・フィルムに対し、用途に応じた様々な官能基（親水、親油、密着性向上。など）を化学的結合により付与することが出来ます。
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サンプル形状を選ばず、自由に処理！バレルタイプ プラズマ処理装置
微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質が可能！溶液を使用せずに洗浄や改質ができ、良環境性と低ランニングコストを実現
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ロールtoロール式 減圧プラズマ処理装置『PR Series』
ロール状フィルム基材の処理に対応。 減圧プラズマ処理により、アッシング・エッチングの他、表面改質処理（官能基付与）が可能。
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