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バイオプロセシング(7)
バイオプロセシングについて
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マイクロエレクトロニクス(7)
マイクロエレクトロニクスのデバイス構造の複雑化、微細化が進むにつれ、薬液を使用するプロセスへの要求はより厳しくなってきます。 半導体、太陽光発電、LEDの様々な分野の異なるプロセスをカバーするために、様々な異なる材料が必要です。繊細な材料を高清浄度で安全かつ高信頼性で供給する事は極めて重要です。
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ファン(5)
磁気浮上技術によって、ファンブレードは磁場によって浮上し、非接触で駆動されます。ブレードが非接触で回転するため、パーティクルの発生がなく、メンテナンスの頻度も大幅に削減することが可能です。インペラとハウジングは耐薬品性樹脂で形成されているため、揮発性の高い液体の雰囲気中でも使用可能で、防爆条件下での使用にも対応しています。