Product Services
Products/Services
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精密洗浄装置(4)
洗練された超音波洗浄ユニットにより、スーパークリーン洗浄を実現。 あらゆる精密部品・製品の洗浄工程で幅広く導入されている信頼性の高いシステムです。 タッチパネルなどの採用により、操作性・安全性・メンテナンス性がさらに向上。 またシステムの随所にハイグレードなパーツを使用して完成度を高めています。
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ファインシリーズ洗浄ユニット(7)
サブミクロンのパーティクルを 750kHz～3.0MHzの高周波でダメージレス洗浄。
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ウルトラソニック洗浄ユニット(2)
先端の超音波テクノロジーで、 あらゆる精密洗浄をサポート。
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スピンソニッククリーナー(1)
サブミクロンのパーティクルまでも非接触でウェハー両面を同時洗浄。 ウェハー横置き、枚葉式ファインジェット方式の採用で高い洗浄能力を実現。 スピンソニッククリーナーは、サブミクロンのパーティクルまでも取り除きます。 さらに工程数をカットし、薬液管理およびヒーターが不要に。 洗浄時間の短縮、ランニングコストの節約などを可能とするすぐれたパフォーマンスを発揮します。