真空・低圧プラズマ解析ソリューション
真空・低圧プラズマ解析ソリューション
弊社は、 ・真空中・低圧の中性ガスの解析に特化したソフトウェア『DSMC-Neutrals』 ・真空中・低圧のプラズマの解析に特化したソフトウェア『Particle-PLUS』 の姉妹製品を自社開発して販売しております。 これらのソフトウェアの具体的な解析対象・実績としては、真空チャンバーのガス流れの解析、熱・プラズマCVD、真空蒸着、スパッタリング、真空ポンプの解析などがございます このカテゴリのページでは両製品の製品紹介と事例の紹介記事を掲載しております。 もしご興味をいただけましたらお気軽に記事を閲覧、お問い合わせください。
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Particle Method 3D Rarefied Fluid Analysis Software 'DSMC-Neutrals'
Analysis of gas flow under low pressure conditions can be performed with analysis software that also supports rarefied gases (rarefied fluids).
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Particle-based Plasma Analysis Software 'Particle-PLUS'
"Particle-PLUS" is a plasma analysis software suitable for simulations such as plasma reaction furnaces and chemical vapor deposition (CVD).
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